بررسي اثر بازپخت بر روي دانه بندي و آستانه تخريب ناشي از ليزر لايه هاي Ta2O5

لايه هاي دي الكتريك Ta2O5 در سال هاي اخير كاربرد فراواني در ساخت فيلترهاي اپتيكي مورد استفاده در ليزر، نجوم، پزشكي،علوم نظامي و ... پيدا كرده اند. اين امر به دليل پارامترهاي اپتيكي و فيزيكي خوبي است كه از آن ها، به عنوان يك سراميك با ضريب شكست بالا، ماده اي پركاربرد مي سازد. در اين تحقيق چهار زيرلايه از جنس BK7 مورد استفاده قرار گرفت، از روش كندوپاش مغناطيسي براي انجام لايه نشاني بر روي زيرلايه ها استفاده شد و در نهايت چهار لايه Ta2O5 با شرايط يكسان به دست آمد. ضخامت تمامي لايه ها 200 نانومتر انتخاب شد. نمونه ها در ادامه براي انجام عمليات حرارتي درون دستگاه بازپخت قرار گرفته و در دماهاي 400، 450،500 و 550 درجه سانتي گراد، به مدت 2 ساعت گرمادهي شدند. بررسي تأثير بازپخت بر دانه بندي لايه هاي Ta2O5 كه هدف اصلي اين پژوهش بود توسط دستگاه AFM انجام گرفت و در نهايت براي بررسي مقاومت فيزيكي لايه هاي Ta2O5 ، آناليز آستانه تخريب ليزري (LIDT) توسط ليزرHz10 Nd:YAG با انرژي J1 در طوموج nm 1064 و با عرض پالس ns 20 بر روي نمونه ها انجام گرفت. و چگالي هاي سطحي انرژي آن ها پس از رخدادن تخريب با هم مقايسه شد.