شماره ركورد كنفرانس :
4852
عنوان مقاله :
p201. مشخصه‌يابي زبري سطح لايه هاي نازك كربن شبه الماسي با استفاده از آناليز بس برخالي
عنوان به زبان ديگر :
Characterization of surface roughness of diamond-like carbon thin films by multi-fractal analysis
پديدآورندگان :
مدبراصل علي modabber@yu.ac.ir دانشگاه ياسوج؛ , شريفي محمد m.sharifi40@yahoo.com دانشگاه صنعتي اصفهان؛ , كاملي پرويز kameli@cc.iut.ac.ir دانشگاه صنعتي اصفهان؛ , شهبازي فرهاد shahbazi@cc.iut.ac.ir دانشگاه صنعتي اصفهان؛
كليدواژه :
لايه هاي نازك , كربن شبه الماسي , زبري سطح , آناليز بس برخالي thin films , diamond-like carbon , surface roughness , multi-fractal analysis , 68.00
عنوان كنفرانس :
چهاردهمين كنفرانس ملي ماده چگال انجمن فيزيك ايران
چكيده فارسي :
در اين پژوهش، آناليز بس برخالي بر روي تصاوير ميكروسكوپي AFM سطح لايه هاي نازك كربن شبه‌الماسي (DLC) ساخته شده با روش لايه‌نشاني ليزر پالسي(PLD) درفاصله هاي مختلف هدف - زيرلايه، فاصله هاي 5/4 و 5/6 سانتيمتر، مورد مطالعه قرار گرفت. مشاهده شد كه با افزايش فاصله هدف - زيرلايه، زبري سطح لايه هاي نازك افزايش مي يابد. نتايج نشان داد كه لايه هاي DLC ماهيت بس برخالي دارند. علاوه براين شدت بس برخالي، نايكنواختي احتمالات ارتفاع و پيچيدگي سطح لايه هاي DLC با افزايش فاصله هدف – زيرلايه نيز افزايش مي يابد.
چكيده لاتين :
In this study, multi-fractal analysis is performed on the atomic force microscopy (AFM) images of the diamond-like carbon (DLC) thin films surface deposited by pulsed laser deposition (PLD) technique at different target-substrate distance: 4.5 and 6.5 cm. It was found that the surface roughness of thin films increases as the target-substrate distance increases. The results show that the DLC films are multi-fractal in nature. Moreover, the strength of multi-fractility, the non-uniformity of the height probabilities and complexity of the DLC films increases as the target-substrate distance increases.
