p157. ساخت لايه‌هاي اكسيد تنگستن به‌ روش شعله براي كاربردهاي حسگر نوري گاز هيدروژن

Fabrication of tungsten oxide thin film by flame method for optical hydrogen sensor

در سالهاي اخيرحسگرهاي اپتيكي بر پايه رفتار رنگزايي اكسيد تنگستن به علت امنيت و انتخاب پذيري حسگري در محيط قابل اشعال گاز هيدروژن ،توجه زيادي را به خود جلب كرده اند. در اين پژوهش لايه نازك اكسيد تنگستن به روش شعله بر روي زير لايه‌ي لامپ رشته‌اي تنگستن لايه نشاني شده است. لايه نشاني نانو ذرات پالاديم روي به عنوان كاتاليست گاز هيدروژن بر سطح اكسيد تنگستن توسط روش اسپاترينگ انجام شده است. رفتار گازو كروميك لايه نازك Pd-W5O14 در دماي كاريC ◦ 102.5 به عنوان حسگر اپتيگي گاز هيدروژن مورد بررسي قرار گرفته است.

In recent years, optical sensors based on chromogenic properties of tungsten oxides have attracted much attention due to the safety and selectivity of sensing in a explosive manner in atmosphere of hydrogen gas. In this research, the thin film of tungsten oxide was synthesized by the flame method on the substrate of the tungsten lamp. The palladium nanoparticle as a hydrogen gas catalyst deposited on tungsten oxide surface by sputtering method. The gasochromic properties of Pd-W5O14 thin-film at an operating temperature of 102.5 ◦C have been investigated C as an optical H2 gas senso .