فشارسنج اپتيكي با آشكارسازي هم‌كانون

Optical Pressure Sensor with Confocal Detection

در اين مقاله يك روش جديد فشارسنجي اپتيكي مبتني بر شدت، با آشكارسازي هم #8204;كانون معرفي مي #8204;شود. باريكه ليزر بوسيله يك عدسي شيئي روي قسمتي از يك ديافراگم منعطف بازتابي، كانوني شده و با تغيير شكل ديافراگم در اثر تغيير فشار، شدت نور عبوري از روزنه #8204;ايي مناسب كه در صفحه هم #8204;كانون قرار گرفته است، ثبت مي #8204;شود و با روندي مشخص به اندازه #8204;گيري فشار تبديل مي #8204;شود. نتايج سنجش فشار در محدوده kPa 85/98 تا kPa 6/103 گزارش شده و روند اندازه #8204;گيري تشريح شده است. از مزيت #8204;هاي اين روش، علاوه بر ساده بودن چيدمان و تحليل داده #8204;ها، مي #8204;توان به تنظيم #8204;پذيري حساسيت و محدوده قابل اندازه #8204;گيري فشار، با انتخاب مناسب عدسي شيئي و جنس ديافراگم اشاره كرد.

In this paper, a new method for intensity-based optical pressure sensing with confocal detection scheme is introduced. A continuous laser beam is focused on a reflective flexible diaphragm by a microscope objective. Upon a deformation of the diaphragm due to a pressure change, the transmitted light intensity from a pinhole placed in the confocal plane, is recorded and converted to the pressure measurements by a certain procedure. Results of the pressure measurement in the range of 98.65 kPa to 103.6 kPa are reported and the procedure of the measurement is explained. In addition to simplicity of the apparatus and interpretation of the recorded signals, the method can be readily modified to operate with a required sensitivity in a desired pressure range. This can be achieved by utilizing a different microscope objective and diaphragm material.