پديدآورندگان :
قلي نژاد جلال دانشگاه شهيد بهشتي , جعفري دياني كيان دانشگاه شهيد بهشتي , عابدي كامبيز دانشگاه شهيد بهشتي
چكيده فارسي :
توانايي اندازه گيري تغييرات اندك گرانش در يك مكان اجازه يافتن منابع هيدروكربن (نفت، گاز و ذغال سنگ)، ماگماي زير سطح قبل از فوران و تونل #8204;ها را مي #8204;دهد. تكنولوژي #8204;هاي متعددي براي اندازه #8204;گيري گرانش وجود دارند، كه پهناي باند كم و حساسيت زياد لازمه اين سنسورهاست. اما گرانش سنج هاي كنوني همگي محدوديت #8204;هاي ابعاد بزرگ، جرم بالا و قيمت زياد دارند. در اين مقاله گرانش #8204;سنج مبتني بر مدار قرائت نوري و با استفاده از تكنولوژي ميكروالكترومكانيكال طراحي شده است، كه مشكلات برشمرده را برطرف نموده و مزايايي همچون عدم اعمال نويز مكانيكي و رهاسازي آسان جرم مبنا را داراست. طراحي انجام شده در عين سازگاري با تكنولوژي مدارات مجتمع داراي پهناي باند كم، حساسيت بالا، ابعاد كم و امكان توليد تجاري است.
چكيده لاتين :
Information about the earth #38;rsquo;s crust can be revealed by the measuring of gravity; furthermore, gravimeters can be used in space science, the studying of planets, discovering of hydrogen sources, magma surveys, and geography. Low-cost, high-sensitivity, and low-size are critical needs in gravimetry. High sensitivity, low resonance frequency, low cost, ability for array production, and small size features make a wide applications of gravimeters to be commercial. In this paper, a new structure as gravimeter based on optical ROC and MEMS technology is introduced. The designed sensor has small size, easy release procedure, and low noise while an optical ROC is employed. In summary, a low bandwidth, high-sensitivity, and small MEMS-based Gravimeter is demonstrated, which this could open a way for MEMS gravimeters to be accurate and be commercially used.