بررسي و مقايسه عملكرد ميكروحسگرهاي پيزورزيستيو و خازني براي سنجش فشار با حساسيت بالا

A Comparative Study of Piezoresistive and Capacitive Pressure Microsensors for High-Sensitivity Pressure Measurement

در سال‌هاي اخير، ميكروسنسور‌ها به دليل هزينه پايين، ابعاد كوچك و مجتمع‌سازي آسان مورد توجه بيشتري قرار گرفته‌اند. سنسورهاي فشار به‌صورت ديجيتالي، ابعاد كوچك، كم‌هزينه و كم‌مصرف ساخته شده‌اند كه بازده و عملكرد اين سنسورها را تا حد قابل توجهي افزايش داده و باعث شده تا موج جديدي از نوآوري‌ها در اين حوزه به راه افتد. سنسورهاي پيزورزيستيو و خازني از متداول‌ترين انواع اين سنسورها هستند كه در كار حاضر، به بررسي عملكرد، نقاط قوت و ضعف و مقايسه‌ي كلي اين سنسورها پرداخته شده است. نتايج نشان مي‎دهد كه سنسورهاي خازني حساسيت بالاتر و سرعت پاسخ‌دهي بيشتري نسبت به سنسورهاي پيزورزيستيو دارند.