طراحي و شبيه سازي شتاب سنج خازني MEMS براي استفاده در سمعك هاي تمام كاشت

كم شنوايي يك معلوليت بي صدا و قابل توجه است كه ميليون ها نفر در سراسر جهان با اين مشكل مواجه هستند. در اين مقاله يك ساختار جديد، فشرده، ساده و كارآمد به منظور بهبود حساسيت و نويز شتاب سنج خازني MEMS، جهت استفاده به عنوان ميكروفن در سمعك تمام كاشت پيشنهاد شده است كه با جراحي در ساختار استخوان گوش مياني كاشته مي شود. پارامترهاي طراحي مانند اندازه، جرم و فركانس رزونانس در طراحي اين شتاب سنج مورد توجه قرار گرفته است. در طراحي اين ساختار از 8 فنر كه در گوشه هاي ساختار قرار مي گيرند، استفاده شده كه باعث افزايش فاصله، ميان مود هاي فركانسي اوليه و ثانويه ساختار مي گردد. اين ساختار داراي مساحت 1mm^2، نويز حرارتي 18.9μg/√(H_z ) ،حساسيت عالي 8.6fF/g و ضريب شايستگي بالا است. ساختار طراحي شده با كمك نرم افزار COMSOL Multiphysics شبيه سازي و از نظر عملكرد مورد بررسي قرار گرفته است.