اثر ناصافي سطح در پراش‌سنجي به وسيله پله ‌فازي

The effect of surface roughness on phase step diffractometry

در تمام كاربرد‌هاي پراش از پله‌فازي فرض شده است كه سطوح پله فازي از نظر اپتيكي كاملا صاف و هموار است. اما در عمل امكان ساختن چنين پله‌هاي ايده‌آلي، حتي با دقيق‌ترين روش‌هاي ساخت، وجود ندارد. در اين پژوهش تاثير ناصافي سطوح پله در پراش‌سنجي به روش پله فازي مورد بررسي قرار گرفته است. ابتدا توصيف نظري ارائه گرديده و سپس نتايج پيش‌بيني شده با شبيه‌سازي و انجام آزمايش مورد تأييد قرار گرفته است.

In all of the predated applications phase steps, the surfaces of the incorporated phase steps are considered to be optically smooth and flat. However, practically, fabrication of such elements is impossible, and some amount of roughness and unflatness is unavoidable even in a precise and careful fabrication process. In this research, we address the effect of the roughness of the phase step surfaces on optical diffractometry. We provide the theoretical description and confirm the results with simulations and experiments.