شماره ركورد كنفرانس :
5339
عنوان مقاله :
بررسي پوششهاي چندلايهي Ta/TaxOy ايجاد شده به روش كندوپاش مغناطيسي
عنوان به زبان ديگر :
Investigating Ta/TaxOy multilayer coatings created by magnetic sputtering method
پديدآورندگان :
سلطانعليپور مهديه m.soltanalipour@gmail.com دانشگاه صنعتي سهند , بدر ميلاد milad_badr@ymail.com دانشگاه صنعتي سهند , خليلعلافي جعفر jallafi@yahoo.de دانشگاه صنعتي سهند
كليدواژه :
تانتالم , كندوپاش مغناطيسي , آلياژ حافظهدار شكلي NiTi , مقاومت خوردگي
عنوان كنفرانس :
دوازدهمين كنفرانس بين المللي مهندسي مواد و متالورژي
چكيده فارسي :
روش كندوپاش مغناطيسي براي ايجاد يك پوشش دو فازي Ta/TaxOy بر روي آلياژ حافظهدار شكلي NiTi استفاده شد. اين پوششها براي بهبود خواص سطحي، مانند مقاومت خوردگي و زيستسازگاري ايجاد ميشوند. اين لايهها بهطور همزمان با كندوپاش تارگت تانتالم در محيط Ar-O2 تشكيل شدند. علاوهبراين، تاثير دماي زيرلايه با اين تركيب گازي مطالعه شد. با استفاده از آزمون پراش اشعه ايكس لايه نازك (GI-XRD) حالتهاي كريستالي پوششها بررسي شد. آزمون پلاريزاسيون پتانسيوديناميك براي ارزيابي رفتار الكتروشيميايي نمونههاي بدون پوشش و پوششدهي شده در محلول SBF و در دماي C 5/0 37 انجام شد. در نهايت، مشخص شد كه لايههاي نازك رسوبدهي شده در دماي C 200 از مقاومت خوردگي بسيار عالي برخوردار هستند.
چكيده لاتين :
Magnetron sputtering method was used to create a two-phase Ta/TaxOy coating on NiTi shape memory alloy. These coatings are developed to improve surface properties, such as corrosion resistance and biocompatibility. The layers were deposited simultaneously with tantalum target sputtering in Ar and Ar-O2 environment, respectively. In addition, the effect of substrate temperature at this gas composition was studied. Using X-ray diffraction test, the crystalline states of the coatings were investigated. Potentiodynamic polarization test was performed to evaluate the electrochemical behavior of uncoated and coated samples in SBF solution and at 37 ? 0.5 ?C. Finally, it was found that the thin layers deposited at 200 ?C have excellent corrosion resistance.