شماره ركورد كنفرانس :
5385
عنوان مقاله :
شبيه سازي ديناميك مولكولي پديدهي كندوپاش آهن با پلاسماي آرگون
عنوان به زبان ديگر :
Molecular dynamics simulation of iron sputtering phenomenon with argon plasma
پديدآورندگان :
تقي نژاد جواد javad_taghinejad@yahoo.com دانشگاه شهيد بهشتي ، اوين، تهران , نيكنام عليرضا دانشگاه شهيد بهشتي ، اوين، تهران
كليدواژه :
كندوپاش آهن , شبيه سازي ديناميك مولكولي , انرژي بستگي سطح , انرژي آستانه كندو پاش.
عنوان كنفرانس :
دهمين همايش ملي مهندسي و فيزيك پلاسماي ايران
چكيده فارسي :
فرآيند كندوپاش مواد جامد به دليل كاربرد آنها در علم و فناوري مواد موضوعي جذاب است. بنابراين، در اين مقاله به شبيه سازي پديده كندوپاش سطح آهن توسط پلاسماي آرگون مي پردازيم. به اين منظور، تغييرات زماني حركت يونها و نحوه برخورد يونها با اتمهاي سطح را با استفاده از روش ديناميك مولكولي، شبيه سازي و آناليز ميكنيم. همچنين، بازدهي كندوپاش سطح آهن بر حسب زاويه فرودي يونها در چند انرژي مختلف را ارائه ميدهيم. در آخر، انرژي بستگي سطح و انرژي آستانه كندو پاش آهن براي زواياي مختلف فرودي را به دست آورده و انرژي آستانه كندوپاش را با نتايج فرمولهاي نيمه تجربي مقايسه ميكنيم.