شماره ركورد كنفرانس :
5385
عنوان مقاله :
بررسي تاثير ناهمواري بر خصوصيات مكانيكي و آماري لايه هاي نازك تانتالوم كاشت شده با يون هاي آرگون و نيتروژن
عنوان به زبان ديگر :
The Effects Of Interfacial Roughness On The Mechanical And Statistical Properties Of Argon and NitrogenIon implanted Tantalum Films
پديدآورندگان :
رمضاني امير هوشنگ ramezani.wtiau1400@gmail.com گروه فيزيك، واحد تهران غرب، دانشگاه ازاد اسلامي، تهران-ايران , ابراهيمي نژاد ژاله گروه فيزيك، واحد تهران غرب، دانشگاه ازاد اسلامي، تهران-ايران
كليدواژه :
تانتالوم , زبري سطح , لايه نازك
عنوان كنفرانس :
دهمين همايش ملي مهندسي و فيزيك پلاسماي ايران
چكيده فارسي :
در اين مقاله، اثر نوع يون براي بررسي ترابرد ازميان ساختارهايي كه فصول مشترك آنها توسط فرآيند كاشت يون ايجاد شده است، در نظر گرفته شده است .فصول مشترك بر پايه تانتالوم بوده و يون هاي آرگون و نيتروژن با انرژي 30 كيلوالكترون ولت و در دوزهاي مختلف ر بمباران يوني نمونه ها در نظر گرفته شده اند. نتايج نشان مي دهد كه فصول مشترك كه با كاشت يون آرگون توليد شده اند نسبت به موارد نيتروژن تاثيرات بيشتري بر ترابرد دارند. همچنين نسبت قله به دره در دو مورد كاهش مي يابد.
