شماره ركورد كنفرانس :
5385
عنوان مقاله :
بررسي دماي الكتروني پلاسماي آرگون تحت شرايط خلأ در دستگاه مولد پلاسماي جفت‌شده القايي ICP-13.56 به روش ترسيم بولتزمن
عنوان به زبان ديگر :
Investigating the electron temperature of argon plasma under vacuum conditions in the inductively coupled plasma generator ICP-13.56 by Boltzmann line method
پديدآورندگان :
طباطبائي سيد منصور mstabatabaei@aeoi.org.ir پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي تهران , حفظ الصحه عليرضا پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي تهران , يزدان پناه جمال الدين پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي تهران , قرشي سيد امير حسين پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي تهران , الهي مجيد پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي تهران
كليدواژه :
دماي پلاسما , روش ترسيم بولتزمن , مشعل ICP
عنوان كنفرانس :
دهمين همايش ملي مهندسي و فيزيك پلاسماي ايران
چكيده فارسي :
در اين مقاله، به اندازه‌گيري دماي الكتروني پلاسماي آرگون تحت شرايط خلاء در دستگاه مولد پلاسماي جفت‌شده القايي ICP-13.56 (فركانس كاري MHz13/56 و بيشينه توان kW 2) بر اساس طيف‌سنجي مي‌پردازيم. نتايج حاصل‌شده به روش ترسيم بولتزمن براي فشارهايmbar 0/3،4 به‌ازاي توان‌هاي RF ورودي W 200،400 ارائه و بحث مي‌شوند.
