شماره ركورد كنفرانس :
5385
عنوان مقاله :
شبيه‌سازي تخليۀ سد دي‌الكتريك در فشار خلاء با استفاده از نرم‌افزار كامسول
عنوان به زبان ديگر :
Dielectric barrier discharge simulation in vacuum pressure using COMSOL software
پديدآورندگان :
كرمي مهدي karami.mahdi3636@gmail.com گروه فيزيك، دانشكده علوم پايه، دانشگاه گيلان، رشت، ايران , دژپور علي گروه فيزيك، دانشكده علوم پايه، دانشگاه گيلان، رشت، ايران , جعفري ساعد گروه فيزيك، دانشكده علوم پايه، دانشگاه گيلان، رشت، ايران
كليدواژه :
پلاسماي فشار خلا , شبيه‌سازي تخليه سد دي‌الكتريك , لايه‌نشاني
عنوان كنفرانس :
دهمين همايش ملي مهندسي و فيزيك پلاسماي ايران
چكيده فارسي :
در سال‌هاي اخير، لايه نشاني و اصلاح سطح پلاسمايي توسط دستگاه تخليه سد دي الكتريك در فشار خلاء، توجه زيادي را به خود جلب كرده اند. در اين مطالعه با استفاده از نرم‌افزار كامسول نسخه 6 مدل‌سازي دستگاه تخليۀ سد دي‌الكتريك پلاسماي گاز آرگون در فشار خلاء انجام گرفت. شبيه‌سازي در فشار پايين 1 ميلي‌بار و فركانس ثابت 50 كيلوهرتز در ولتاژهاي 1، 5 و 10 كيلوولت صورت گرفته است. با تغيير ولتاژ هاي ذكر شده ، پارامتر هاي پتانسيل الكتريكي ، چگالي الكترون مورد تحليل قرار گرفتند. از آن‌جايي كه توان نهشت كل، پارامتر بسيار مهمي در اصلاح سطح پلاسمايي فيلم هاي نازك محسوب مي‌شود ، بدين منظور علاوه بر بررسي نمودار هاي دو بعدي پتانسيل الكتريكي و چگالي الكترون ، نمودار تغييرات توان نهشت بر حسب زمان نيز در اين مطالعه مورد بررسي قرار گرفت. نتايج نشان مي دهد كه با افزايش ولتاژ اعمالي، پلاسماي يكنواخت و چگالتري در فضاي بين دو الكترود، ايجاد مي شود و نرخ توان نهشت يافته پلاسما، افزايش مي يابد.
