شماره ركورد كنفرانس :
5385
عنوان مقاله :
شبيه‌سازي كامپيوتري توليد اكسيژن شبه‌پايدار O2*(a1∆g) بوسيله يك ميكروتخليه كاتد توخالي در رژيم خودپالسي پلاسماي Ar/O2
عنوان به زبان ديگر :
Computer simulation of metastable oxygen O2*(a1∆g) production by a micro hollow cathode discharge in the self-pulsing regime of Ar/O2 plasma
پديدآورندگان :
نامور ليلا lili.namvar@yahoo.com دانشگاه صنعتي سهند تبريز، شهر جديد سهند، تبريز , فروتن غلامرضا foroutan@sut.ac.ir دانشگاه صنعتي سهند تبريز، شهر جديد سهند، تبريز , فروتن وحيد vahidforoutan@hotmail.com تكنولوژي سبز پارس جهد، گروه صنعتي پارس جهد، تهران، ايران.
كليدواژه :
شبيه سازي عددي مدل عام , ميكروتخليه كاتد توخالي , اكسيژن شبه‌پايدار تكي , پلاسماي Ar , O2
عنوان كنفرانس :
دهمين همايش ملي مهندسي و فيزيك پلاسماي ايران
چكيده فارسي :
شبيه سازي عددي يك تخليه پلاسماي ميكروكاتد توخالي براي بررسي توليد اكسيژن شبه‌پايدار تكي در پلاسماي Ar/O2 در رژيم خودپالسي مورد استفاده قرار گرفت. نتايج شبيه‌سازي نشان داد كه ذرات با فركانس خودپالس 17.48 kHz نوسان مي‌كنند. بهينه فشار كه در آن گونه‌هاي باردار و شبه‌پايدارها بيشترين چگالي خود را دارند برابر P = 200 Torr است. بهره توليد O2*(a1∆g) بطور قابل توجهي تحت تاثير كسر اكسيژن و همچنين مقدار فشار تغيير مي‌كند طوريكه بهترين بهره در شرايط مختلفي به‌دست مي‌آيد. در تركيب 0.95 Ar – 0.05 O2 در فشار 100 Torr، در تركيب 0.9 Ar – 0.1 O2 در فشار 200 Torr و براي تركيب 0.91 Ar – 0.09 O2 در فشار 250 Torr كه همگي در ولتاژ اعمالي 700 V هستند.
