طراحي و ساخت چشمه يون پلاسماي كاتد فيلامان

Design and construction of a filament cathode plasma ion source

در اين مقاله، طراحي و ساخت يك نمونه چشمه يون پلاسماي كاتد فيلامان با قطر پرتو 12 سانتيمتر گزارش شده است. اين چشمه يون براي لايه نشاني كندوپاش با پرتو يون و لايه نشاني به كمك پرتو يون بكار ميرود. در طراحي اين چشمه يون از پيكربندي ميدان مغناطيسي واگرا براي محبوس سازي الكترونها و ايجاد پلاسما در خلأ بالا استفاده شده است. پرتو يون آرگون توسط يك سامانه دو-توري استخراج شده است. شرايط توليد پلاسما و تشكيل پرتو يون در محدوه فشار پايين مورد مطالعه قرار گرفته است. در فشار 4-10 × 2 ميلي بار، ولتاژ تخليه الكتريكي 60 ولت، جريان رشته 8 آمپر و ميدان مغناطيسي حدود 30 گاؤس، جريان تخليه الكتريكي 5 / 2 آمپر به دست آمد.