شماره ركورد كنفرانس :
5385
عنوان مقاله :
لايه نشاني كربن الماس گونه به روش جت پلاسماي فشار اتمسفري
عنوان به زبان ديگر :
Deposition of diamond-like carbon films by using an atmospheric pressure plasma jet
پديدآورندگان :
بيگ محمدلو رقيه rh.bml.6000@gmail.com دانشگاه صنعتي سهند تبريز , قره شعباني اسلام دانشگاه صنعتي سهند تبريز
كليدواژه :
فشار اتمسفر , لايه نازك , كربن الماس گونه
عنوان كنفرانس :
دهمين همايش ملي مهندسي و فيزيك پلاسماي ايران
چكيده فارسي :
در اين مقاله با تكنيك پلاسماي فشار اتمسفري، كربن الماس گونه بر روي زير لايه شيشه كوارتز با گاز آرگون خالص و ان هگزان لايه نشاني شد. براي مشخصه يابي فيلم ها از ميكروسكوب نيروي اتمي براي بررسي توپوگرافي سطح، ميكروسكوب الكتروني روبشي جهت بررسي مورفولوژي سطح و طيف سنجي رامان براي بررسي ساختار شيميايي استفاده شد. خواص فيلمها بستگي به نسبت sp2 sp3/ دارد كه به وسيله زمان لايه نشاني كنترل مي شود به شرط تابت ماندن ساير پارامترهاي فيزيكي.
