شماره ركورد كنفرانس :
5498
عنوان مقاله :
استفاده از دستگاه تشخيصي قدرتمند Raman در مشخصه‌يابي نانو ذرات سيليكوني ساخته شده با استفاده از پلاسما
عنوان به زبان ديگر :
Using a powerful Raman diagnostic device in the characterization of silicon nanoparticles synthesized by using plasma
پديدآورندگان :
خليل زاده الناز سازمان انرژي اتمي، پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي، پژوهشكذه پالسما و گذاخت هسته اي، تهران، ايران , دهقاني زهره zdehghani@aeoi.org.ir سازمان انرژي اتمي، پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي، پژوهشكذه پالسما و گذاخت هسته اي، تهران، ايران , رفيعي زهرا سازمان انرژي اتمي، پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي، پژوهشكذه چرخه سوخت، تهران، ايران
كليدواژه :
ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM) و طيف سنجي رامان (Raman) نانو ذرات سيليكوني , پلاسماي فشار اتمسفر
عنوان كنفرانس :
اولين كنفرانس بين المللي و چهارمين كنفرانس ملي تجهيزات و فناوري هاي آزمايشگاهي
چكيده فارسي :
اين مقاله به بررسي ويژگي‌هاي ساختاري نانو ذرات سيليكوني ساخته شده با استفاده از پلاسما در فشار اتمسفر توسط دسنگاه هاي آناليزي مانند ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM) و طيف سنجي رامان (Raman) مي‌پردازد. نتايج بررسي‌ها نشان مي‌دهد كه پلاسما به دليل ويژگي منحصر به فرد و كنترل پذيري بالا قادر به توليد نانو ذرات سيليكوني در ابعاد حدود nm 4 است. توليد نانو ذرات سيليكوني به صورت بلوري تنها در نرخ شارش‌هاي بالاي گاز ورودي به پلاسما كه منجر به شارش و پخش بيشتر پلاسماي آرگون مي‌شود، امكان پذير است. در شارش‌هاي پايين، تخليه پلاسمايي به صورت فيلماني رخ مي‌دهد كه نتيجه آن گرم شدن ذرات به صورت موضعي و توليد نانو ذرات به صورت آمورف است.
