شماره ركورد كنفرانس
5498
عنوان مقاله
استفاده از دستگاه تشخيصي قدرتمند Raman در مشخصهيابي نانو ذرات سيليكوني ساخته شده با استفاده از پلاسما
عنوان به زبان ديگر
Using a powerful Raman diagnostic device in the characterization of silicon nanoparticles synthesized by using plasma
پديدآورندگان
خليل زاده الناز سازمان انرژي اتمي، پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي، پژوهشكذه پالسما و گذاخت هسته اي، تهران، ايران , دهقاني زهره zdehghani@aeoi.org.ir سازمان انرژي اتمي، پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي، پژوهشكذه پالسما و گذاخت هسته اي، تهران، ايران , رفيعي زهرا سازمان انرژي اتمي، پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي، پژوهشكذه چرخه سوخت، تهران، ايران
تعداد صفحه
6
كليدواژه
ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM) و طيف سنجي رامان (Raman) نانو ذرات سيليكوني , پلاسماي فشار اتمسفر
سال انتشار
1402
عنوان كنفرانس
اولين كنفرانس بين المللي و چهارمين كنفرانس ملي تجهيزات و فناوري هاي آزمايشگاهي
زبان مدرك
فارسي
چكيده فارسي
اين مقاله به بررسي ويژگيهاي ساختاري نانو ذرات سيليكوني ساخته شده با استفاده از پلاسما در فشار اتمسفر توسط دسنگاه هاي آناليزي مانند ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM) و طيف سنجي رامان (Raman) ميپردازد. نتايج بررسيها نشان ميدهد كه پلاسما به دليل ويژگي منحصر به فرد و كنترل پذيري بالا قادر به توليد نانو ذرات سيليكوني در ابعاد حدود nm 4 است. توليد نانو ذرات سيليكوني به صورت بلوري تنها در نرخ شارشهاي بالاي گاز ورودي به پلاسما كه منجر به شارش و پخش بيشتر پلاسماي آرگون ميشود، امكان پذير است. در شارشهاي پايين، تخليه پلاسمايي به صورت فيلماني رخ ميدهد كه نتيجه آن گرم شدن ذرات به صورت موضعي و توليد نانو ذرات به صورت آمورف است.
كشور
ايران
لينک به اين مدرک