شماره ركورد كنفرانس :
5541
عنوان مقاله :
كاربرد سيستمهاي ميكروالكترومكانيكي در سيستم هاي مختلف الكترونيكي (پزشكي-خودرو- نظامي و صنعتي)
عنوان به زبان ديگر :
Application of Microelectromechanical systems in various electronic systems (medical -automobile-military and industrial)
پديدآورندگان :
براتي محمد جواد parsians@yahoo.com دانشگاه آزاد اسلامي واحد نجف آباد , سنايي پيام p.sanaee@pel.iaun.ac.ir دانشگاه آزاد اسلامي واحد نجف آباد , زنجاني سيد محمد علي sma_zanjani@pel.iaun.ac.ir دانشگاه آزاد اسلامي واحد نجف آباد
كليدواژه :
حسگرهاي اينرسي ميكرو الكترومكانيكي , MEMS , ميكروشتاب سنج , سيستم هاي ميكروالكترومكانيكي , سنسور فشار , سنسور شتاب
عنوان كنفرانس :
كنفرانس ملي مهندسي برق و سيستمهاي هوشمند ايران
چكيده فارسي :
فناوري MEMS1 يا فناوري سيستمهاي ميكروالكترومكانيكي ، حاصل تلفيق اجزاي مكانيكي، حسگرها، محركها و قطعات الكترونيكي بر روي يك لايه سيليكون به كمك فناوري ساخت تراشه‌هاي ميكروني است . در واقع MEMS ، يا سيستم هاي ميكرو الكترو مكانيكي تلفيقي از اجزاي مكانيكي ، حسگر ها ، بازو هاي مكانيكي و اجراي الكترونيكي هستند كه بر روي لايه اي از ماده استراتژيك « سيليكون » قرار دارند. اين ساختار مكانيكي بسيار كوچك در ابعاد « ميكرون » بر پايه تكنولوژي « تراشه هاي الكترونيكي » استوار است. فناوري MEMS يا فناوري سيستم هاي ميكرو الكترو مكانيكي ، در صنايع مختلف و اثرگذار جهان از جمله صنايع خودرو سازي ، موشكي و نظامي كاربرد بسيار زيادي دارند. با پيشرفت تكنولوژي، امروزه نياز به داشتن لوازم اندازه گيري دقيق تر در صنعت خودروسازي، پزشكي، هوافضا و ساير علوم بيش از پيش احساس ميگردد. در همين راستا، پيشرفت در فناوري ساخت ريز تراشه ها IC2 ها سبب ظهور تكنولوژي سيستم هاي ميكروالكترومكانيكي (MEMS) با دقت كاركردي بالا و ايجاد امكان ساخت دستهاي از ساختارها، ديوايس ها و سيستم هاي مكانيكي در ابعاد ميكرون و بكارگيري در حوزه هاي كاربردي شامل شتاب سنج ها، سنسورهاي فشار، ژيروسكوپ، ميكرواپتيك و ...گرديده است.
