مدلسازي و محاسبه ي ضريب كيفيت اتلاف تكيه گاه در مد ارتعاشي پيچشي تشديدگر ديسكي ميكرومكانيكي با دو تير افقي نگهدارنده ي L شكل

در مقاله ی حاضر تشدیدگر دیسكی میكرومكانیكی با دو تیر افقی نگهدارنده ی L شكل تحت مد ارتعاشی پیچشی مورد بررسی قرار گرفته است. تشدیدگرهای میكرومكانیكی قطعات كوچك میكرومكانیكی هستند كه در فیلترها، سنسورها، ژیروسكوپ ها و سوئیچ ها مورد استفاده قرار می گیرند . ابتدا رابطه ی فركانس تشدید مد پیچشی تشدیدگر دیسكی میكرومكانیكی با دو تیر افقی نگهدارنده ی معمولی استخراج شده است. برای بررسی درستی فركانس به دست آمده از رابطه ی تحلیلی، فركانس تحلیلی با فركانس حاصل از نرم افزار ANSYS مقایسه شده است و نتایج مطابقت خوبی داشته اند. سپس رابطه ی ضریب كیفیت اتلاف تكیه گاه در مد پیچشی تشدیدگر دیسكی میكرومكانیكی با دو تیر افقی نگهدارنده ی معمولی استخراج شده است. در ادامه برای افزایش ضریب كیفیت از طرح تیرهای L شكل به جای تیرهای معمولی استفاده شده است. نتایج نشان می دهند استفاده از طرح تیرهای L شكل به جای تیرهای معمولی باعث افزایش ضریب كیفیت در حدود 2 برابر می شود