شماره ركورد كنفرانس :
815
عنوان مقاله :
اندازه گيري نمايه هندسي سطح و تعيين نوفه فاز بازسازي شده با استفاده از تداخل سنجي ميراو
پديدآورندگان :
مصطفوي امجد جعفر نويسنده , خالصي فرد حميدرضا نويسنده
كليدواژه :
انتقال فازي , تداخل سنج ميكروسكوپي , نوفه يابي فازي , بازسازي فاز
عنوان كنفرانس :
شانزدهمين كفنراسن اپتيك و فوتونيك ايران و دومين كنفرانس مهندسي فوتونيك ايران
چكيده فارسي :
در اين مقاله يك نمونه از نمايه سنجهاي نوري غير تماسي توصيف شده است. اين نمايه سنج نوري برپايه تداخل سنجي ميكروسكوپي بازتابي، با بكارگيري تداخل سنج ميراو ساخته و براي اندازه گيري نمايه هندسي سطوح در ابعاد چند صد نانومتري بكار برده شد. ارتفاع ديواره نانومتري با دقت (5%) 20nm اندازه گيري و شكل سه بعدي ان با روش انتقال فازي سه پله اي بازسازي شد. روش واريانس دو بعدي براي نوفه يابي فاز بازسازي شده ابداء و روشي بهينه نسبت به روش گراديان فاز، شناخته شد.
كلمات كليدي:
شماره مدرك كنفرانس :
1845181
