شماره ركورد كنفرانس :
815
عنوان مقاله :
اثر آهنگ انباشت روي خواص الكتريكي، اپتيكي و ساختاري لايه هاي نازك ZnO انباشتي به روش تبخير پرتو الكتروني
پديدآورندگان :
مدايم زاده حامدرضا نويسنده گروه فيزيك دانشگاه اصفهان، آزمايشگاه لايه نشاني , فلاح حميدرضا نويسنده , طباطبايي وحيد نويسنده , قاسمي محسن نويسنده
كليدواژه :
آهنگ انباشت , لايه هاي نازك , پرتو الكتروني
عنوان كنفرانس :
شانزدهمين كفنراسن اپتيك و فوتونيك ايران و دومين كنفرانس مهندسي فوتونيك ايران
چكيده فارسي :
فيلمهاي Zno روي بستره هاي شيشه اي در دماي اتاق به روش تبخير پرتو الكتروني با آهنگهاي انباشت مختلف رشد داده شده اند. مشخصات الكتريكي، اپتيكي و ساختاري لايه ها نظير مقاومت سطحي الكتريكي، تراگسيل و اندازه ي دانه بعد از بازپخت به دست آمده است. لايه هاي به دست آمده با اندازه گيري هاي XRD و اسپكتروفوتومتر آناليز شدند. نتايج XRD نشان داد كه با افزايش آهنگ انباشت از 2 تا 3A/s لايه هاي شفاف با رسانندگي بالا مي تواند حاصل شود. درنهايت معلوم شد كه آهنگ انباشت نقش مهمي در كنترل خواص الكتريكي و اپتيكي لايه هاي نازك ZnO ايفا مي كند.
كلمات كليدي:
شماره مدرك كنفرانس :
1845181
