شماره ركورد كنفرانس :
815
عنوان مقاله :
برجسته نگاري تغييرات سطح در مرتبه نانومتر به كمك روش تداخل سنجي اسپكلي ديجيتالي با فاز متغير 5 پله اي
پديدآورندگان :
موسويان علي نويسنده پژوهشگاه فرهنگ و انديشه اسلامي, , بحرودي ابراهيم نويسنده تهران، اوين، دانشگاه شهيد بهشتي، پژوهشكده ليزر و پلاسما , لطيفي حميد نويسنده علوم پايه
كليدواژه :
فاز پله اي , تداخل سنجي , اسپكل , تست غيرمخرب
عنوان كنفرانس :
شانزدهمين كفنراسن اپتيك و فوتونيك ايران و دومين كنفرانس مهندسي فوتونيك ايران
چكيده فارسي :
report iconخلاصه مقاله:
در اين مقاله با استفاده از روش تداخل سنجي اسپكلي با فاز پله اي متغير در بازوي مرجع، توپوگرافي تغييرات اعمال شده به سطح را بدست آورده ايم. فاز پله اي اعمال شده شامل 5 پله با اختلاف فاز 90 درجه است. مزيت اين روش، وابستگي كمتر نتايج اندازه گيري به انحرافات فاز، از مقدار معيار است. طبق نظريه داده برداري با فاز متغير نتايج در مرتبه λ/256 است. نمونه مورد بررسي يك پتانسيومتر مكعب مستطيل با سطح مقطع 1×1cm بود.
كلمات كليدي:
شماره مدرك كنفرانس :
1845181
