شماره ركورد كنفرانس :
1469
عنوان مقاله :
تحليل عوامل موثر بر عملكرد ديافراگم در سنسورهاي فشار خازني با استفاده از تكنولوژي MEMS
پديدآورندگان :
احمدنژاد نويسنده , عزيزا... گنجي بهرام نويسنده , بالاوندي مهرشاد نويسنده , خسروي نويسنده
كليدواژه :
ديافراگم , سنسور , تكنولوژي MEMS , استرس , فشار خازني
عنوان كنفرانس :
نخستين همايش ملي برق دانشگاه فني و حرفه اي
شماره مدرك كنفرانس :
2564519
