مطالعه خواص الكترونيكي لايه هاي نازك سيليسيوم متخلخل جهت ساخت حسگر گاز اكسيژن در شرايط محيطي متفاوت

در سال هاي اخير پژوهش هايي جهت بررسي اثر حسگري نمونه هاي بر پايه سيليسيوم متخلخل(PS) مورد توجه قرار گرفته و نمونه هايي با ساختار Cu/Si-PS/Au ساخته شده است. در اين كار رفتار الكتريكي لايه هاي نازك PS در برابر گاز O2 بررسي مي شود. نمونه ها به روش الكتروشيميايي از زير لايه سيليسيوم با مقاومت ويژه ساخته شده اند. نمونه ها در محلول الكتروليت شامل اسيدHF((48% ، C2H5OH (99.9%) و آب مقطر با نسبت هاي مختلف x/y/z ، زمان حكاكي، طول و جريان آنودي سازي متفاوت تهيه شده اند . مشخصه هاي I-V نمونه ها در حضور اكسيژن و شرايط مختلف اندازه گيري شده اند.