شماره ركورد كنفرانس :
2956
عنوان مقاله :
ساخت الگوهاي با ابعاد نانومتري با استفاده از AFM
پديدآورندگان :
توكلي محمد باقر نويسنده , حبيب زاده آمنه نويسنده , دوستي مسعود نويسنده
كليدواژه :
ليتوگرافي ترانسديوسر , RFID , IDT , AFM , SAW
عنوان كنفرانس :
سمپوزيوم نانو 93
چكيده فارسي :
در این تحقیق نتایج لیتوگرافی ترانسدیوسر با ابعاد نانومتری ارائه می شود. این فرایند با استفاده از دستگاه AFM انجام شده است. برای انتقال الگوهای با كیفیت بالا سه پارامتر اصلی كه شامل فاصله تیپ (tip) از سطح، سرعت پراب و نیروی اعمالی است، بهینه شده اند. درك تأثیر هر یك از این پارامترها و كنترل آنها كمك می كند تا بتوان الگوی یك ترانسدیوسر با ابعاد نانومتری را به زیر لایه منتقل كرد. در این مقاله ساخت الگوی یك ترانسدیوسر با عرض الكترودهای nm 807 ارائه میشود
شماره مدرك كنفرانس :
4461004
