شماره ركورد كنفرانس :
2308
عنوان مقاله :
رشد لايه نازك اكسيد سيليكون به روش CVD و محاسبه بارهاي اكسيد با تكنيك C-V
پديدآورندگان :
باقرزاده مجيد نويسنده , نظام دوست حميد نويسنده , خليلي سجاد نويسنده , عبداللهي حميدرضا نويسنده , غلامي ورده بهناز نويسنده
تعداد صفحه :
4
كليدواژه :
رشد , لايه نازك , اكسيد سيليكون , روش CVD , بارهاي اكسيد , تكنيك C-V
سال انتشار :
1395
عنوان كنفرانس :
كنفرانس فيزيك ايران
زبان مدرك :
فارسی
شماره مدرك كنفرانس :
4304410
سال انتشار :
1395
از صفحه :
1
تا صفحه :
4
سال انتشار :
1395
لينک به اين مدرک :
https://search.ricest.ac.ir/dl/search/defaultta.aspx?DTC=36&DC=79771