شماره ركورد كنفرانس :
1730
عنوان مقاله :
طرحي جديد از شتاب سنج خازني با تكنولوژي ميكروماشين و با دو درجه آزادي
پديدآورندگان :
زارعيان فاطمه نويسنده , عباسپورثاني ابراهيم نويسنده , قاسمي نيكو نويسنده
كليدواژه :
Mg , آزادي طراحي , شتابسنج خازني , رزولوشنcross axis sensitivity , شتاب سنج خازني
عنوان كنفرانس :
بيستمين كنفرانس مهندسي برق ايران
چكيده فارسي :
یك شتابسنج خازنی با ساختاری نوین و با دو درجه آزادی طراحی و شبیه سازی شده است. ساختار شتابسنج به گونه ای است كه شتاب های وارد شده به سیستم در جهات z و xبا روابط ریاضی ساده قابل تفكیك و اندازه گیری می باشند. این در حالی است كه شتاب اعمال شده در جهتy هیچگونه اثر ناخواسته ای در اندازه گیریهای شتابهای جهات z و x ندارد. این شتابسنج برای اندازه گیری شتاب های تا2g با رزولوشنmg طراحی شده است. نتایج شبیه سازی این ادعا را تایید می كند. ابعاد كلی این ساختار mm2× 2mm × 7μm می باشد.
شماره مدرك كنفرانس :
4460809