شماره ركورد كنفرانس
2308
عنوان مقاله
كاربرد سيليكون حكاكي شده به وسيله محلول TMAH در فن آوري MEMS
پديدآورندگان
مظاهري آذردخت نويسنده , عليبازي ابوذر نويسنده , چرمي مرتضي نويسنده , اميدواري ساره نويسنده
تعداد صفحه
4
كليدواژه
سيليكون , فناوري MEMS , محلول TMAH , تترا ميتيل آمونيم هيدروكسيد
سال انتشار
1395
عنوان كنفرانس
كنفرانس فيزيك ايران
زبان مدرك
فارسی
شماره مدرك كنفرانس
4304410
سال انتشار
1395
از صفحه
1
تا صفحه
4
سال انتشار
1395
لينک به اين مدرک