شماره ركورد كنفرانس
3091
عنوان مقاله
بهينه سازي عملكرد طيف سنجي سيستم ضخامت سنج اپتيكي GSM 420 بوسيله ساخت تك لايه هاي TiO2
پديدآورندگان
متولي باشي نائيني آناهيتا نويسنده
تعداد صفحه
5
كليدواژه
Tio2 سياه , تك لايه , لايه نشاني , ضخامت سنجي اپتيكي و جرمي
عنوان كنفرانس
همايش ملي فيزيك اصفهان
زبان مدرك
فارسی
چكيده فارسي
در انباشت لایه های نازك، ضخامت لایه ها و نحوه كنترل آنها از اهمیت بالایی برخوردار است. به دلیل اهمیتی كه ضخامت سنجی برای بعضی از انواع لایه نشانی ها دارد [1 ] سیستم ضخامت سنجی اپتیكی GSM 420 واقع در سازمان صنایع اپتیك اصفهان راه اندازی شد [ 2]و در این كار تحقیقاتی با لایه نشانی لایه های TiO2 نحوه طیف گیری دستگاه بعد از قطع لایه نشانی مورد بررسی و بهبود قرار گرفته است.
شماره مدرك كنفرانس
2445947
سال انتشار
1389
از صفحه
1
تا صفحه
5
سال انتشار
0
لينک به اين مدرک