شماره ركورد كنفرانس :
3091
عنوان مقاله :
بهينه سازي عملكرد طيف سنجي سيستم ضخامت سنج اپتيكي GSM 420 بوسيله ساخت تك لايه هاي TiO2
پديدآورندگان :
متولي باشي نائيني آناهيتا نويسنده
كليدواژه :
Tio2 سياه , تك لايه , لايه نشاني , ضخامت سنجي اپتيكي و جرمي
عنوان كنفرانس :
همايش ملي فيزيك اصفهان
چكيده فارسي :
در انباشت لایه های نازك، ضخامت لایه ها و نحوه كنترل آنها از اهمیت بالایی برخوردار است. به دلیل اهمیتی كه ضخامت سنجی برای بعضی از انواع لایه نشانی ها دارد [1 ] سیستم ضخامت سنجی اپتیكی GSM 420 واقع در سازمان صنایع اپتیك اصفهان راه اندازی شد [ 2]و در این كار تحقیقاتی با لایه نشانی لایه های TiO2 نحوه طیف گیری دستگاه بعد از قطع لایه نشانی مورد بررسی و بهبود قرار گرفته است.
شماره مدرك كنفرانس :
2445947
