تأثير ضخامت بر خواص اپتيكي لايه هاي نازك اكسيد اينديوم قلع پس از انباشت در دماي اتاق

در اين تحقيق، لايه¬هاي نازك اكسيد اينديوم قلع (ITO) درضخامت¬هاي مختلف به روش تبخير با پرتو الكتروني بر روي بستره شيشه¬اي در دماي اتاق تهيه شده است. ضخامت لايه¬ها 100، 170، 250 و 350 نانومتر مي¬باشد. خصوصيات ساختاری و اپتيكي لايه¬ها پس از لایه نشانی بررسي شد. طیف های پراش XRD نشان داد كه تمامی لایه های تهیه شده (غیر كریستالی) آمورف هستند. نتايج اندازه¬گيري طيف¬هاي عبوري و ¬جذبي در ناحيه مرئي نشان داد كه با افزايش ضخامت درصد عبور و جذب لايه ها بترتيب كاهش و افزايش مي¬يابد.