تأثير آهنگ لايه نشاني بر خواص ساختاري و الكتريكي لايه هاي نازك اكسيد اينديوم آلاييده با قلع

در اين مقاله خواص ساختاری و الكتريكی لايه¬های نازك اكسيد اينديوم آلاييده با قلع (ITO)، كه به روش تبخير با پرتو الكترونی واكنش پذير بر روی زيرلايه¬های شيشه¬ای لايه¬نشانی شده¬اند، مورد بررسی قرار گرفته است. لايه¬نشانی با آهنگ¬های لايه¬نشانی مختلف، در گستره 14/0 تا nm/s 22/0، و در دمای اتاق انجام شد. لايه¬ها با ضخامت تقريباً يكسان nm 100 تهيه شدند. سپس، تمامی لايه¬ها در دمای oC 300 در مجاورت هوا به مدت يك ساعت بازپخت شدند. به منظور بررسی تأثير آهنگ لايه¬نشانی بر خواص ساختاری و الكتريكی لايه¬ها به ترتيب، از تكنيك پراش سنجی اشعه-ايكس (XRD) و دستگاه گمانه چهار نقطه‌اي (Four-Point Probe) برای محاسبه مقاومت ويژه الكتريكی (ρ) استفاده شد. مشاهده شد كه لايه¬ها پس از لايه-نشانی دارای ساختاری آمورف (بی¬شكل) با مقاومت ويژه الكتريكی زياد هستند. اما، پس از بازپخت ساختاری بلوری پيدا می-كنند و رسانندگی آنها افزايش می¬يابد.