در اين تحقيق هدف بررسي اثر دماي زيرلايه بر روي مقاومت به اكسيداسيون و ميزان يون هاي موجود در پوشش آلومينا بر روي فولاد ابزار بوسيله فرآيند تبخير واكنشي فعال شده

در این تحقیق هدف بررسی اثر دمای زیرلایه بر روی مقاومت به اكسیداسیون و میزان یون های موجود در پوشش آلومینا بر روی فولاد ابزار بوسیله فرآیند تبخیر واكنشی فعال شده می باشد. بدین منظور نمونه ها در محیط پلاسما تحت زمان اكسیژن دهی 45 دقیقه، ولتاژ بایاس 100 ولت و سه دمای زیرلایه 600، 700 و 800 درجه سانتیگراد توسط فرآیند تبخیر واكنشی فعال شده پوشش داده شدند. در نهایت درصد وزنی سطح پوشش توسط آنالیز عنصری و مقاومت به اكسیداسیون 3 نمونه در دمای 600 درجه سانتیگراد مورد بررسی قرار گرفت. نتایج نشان داد كه هر چه دمای زیرلایه بیشتر باشد یونهای اكسیژن بیشتری روی سطح می نشیند و همچنین مقاومت به اكسیداسیون بهتر می شود.