شماره ركورد كنفرانس
815
عنوان مقاله
تهيه لايه هاي نازك نيتريد مس Cu3N به روش كندوپاش مگنتروني واكنشي dc و بررسي خواص آنها با تغيير توان تخليه دستگاه
پديدآورندگان
كريمي بيان نويسنده كارشناس ارشد فلسفه , بيدادي حسن نويسنده دانشكده فيزيك دانشگاه تبريز، تبريز , هاديان فرامرز نويسنده
تعداد صفحه
4
كليدواژه
گاف اپتيكي , توان تخليه , فيلمهاي نازك نيتريد مس , كندوپاش مگنتروني واكنشي
عنوان كنفرانس
شانزدهمين كفنراسن اپتيك و فوتونيك ايران و دومين كنفرانس مهندسي فوتونيك ايران
زبان مدرك
فارسی
چكيده فارسي
دراين كار تجربي لايه هاي نازك نيتريد مس به روش كندوپاش مگنتروني واكنشي dc برروي زيرلايه هاي شيشه اي تحت توانهاي تخليه الكتريكي متفاوت و دماي ثابت زيرلايه نهشته شده اند. در اين جا وابستگي چگالي، مقاومت ويژه الكتريكي و گاف اپتيكي فيلمها به توان تخليه نشان داده شده است و علل تغييرات مشاهده شده مورد بحث قرار گرفته است.
كلمات كليدي:
شماره مدرك كنفرانس
1845181
سال انتشار
1388
از صفحه
1
تا صفحه
4
سال انتشار
0
لينک به اين مدرک