آناليز طراحي و توصيف مشخصه ها و تستهاي ويژه ي يك ترانسديوسر خازني MEMS اولتراسونيكي، در خصوص آشكارسازي عيوب در سازه هاي صنعتي

سيستمهاي ميكروالكتروميكانيكي (MEMS) بعنوان يكي از اميد بخش ترين فناوريها در هزاره سوم لحاظ مي شود. امروزه، كاهش حجم و وزن ترانسديوسرها هدف اصلي بسياري از صنايع، دانشگاههاي تحقيقاتي و شركتها مي باشد. پيشرفتهاي اصلي سيستمها و ابزارهاي اولتراسونيكي در دهه هاي اخير، جايگاه هاي ويژه اي پيدا كرده اندودليل خوبي براي آناليزور بررسي آنها بمثابه يك فناوري مدرن و تطبيق پذير وجود دارد. روشهاي اولتراسونيكي مي توانند در پايش ومونيتورينك انتشار ترك (Crack)، عيب، شكست جوش، خرابي قطعات و ... در مكانهاي بحراني، سازه ها و فرآيندهاي صنعتي و ... مورد استفاده قرار گيرند. مع الوصف به علت محدوديت هاي عارضي در بازررسي اولتراسونيكي، يك تكنولوژي ترجيحي، مي تواند بهره گيري از ترانسديوسرهاي خازني MEMS اوتراسونيكي از نوع ديافراگمي باشد. و آشكار سازي عيوب به روش اولتراسونيكي مي پردازد. تراشه مورد نظر داراي 23 سنسور ( به صورت آرايه اي) كه هر يك داراي 180 ديافراگم سيليكوني با يك قطر 85 ميكروني و فركانس طبيعي بارگذاري نشده نرديك به 3.5MHz مي باشد. اين مقاله همچنين گزارشي شامل اندازه گيريهاي ظرفيت خازني- ولتاژ مشخصه هاي (C-V) وادميتانس ارايه مي دهد. سپس آزمايشهاي اصلي و اوليه انجام شده بمنظور تحريك ترانسديوسرهاي پيزوالكتريك (PZT) رايج و فرآيندهاي آشكار سازي موفقيت آميز سيگنالهاي فراصوتي در خصوص كاربردهاي بالقوه آنها ( از جمله اندازه گيري ضخامت اجسام ذيربط) را مورد تدفيق و آناليز قرار مي دهد.