شماره ركورد كنفرانس :
815
عنوان مقاله :
طراحي و ساخت آشكار ساز فتوديودي InSb با استفاده از كاشت يون +Be
پديدآورندگان :
اوسط علي پور علي نويسنده صنايع قطعات نيمه هادي، صنعت آپتوالكترونيك , مرادي محسن نويسنده استاديار گروه مديريت دانشگاه بين‌‌المللي امام‌‌رضا(ع) , دارايي محمد نويسنده دانشجوي كارشناسي ارشد دانشگاه سيستان و بلوجستان , راستگو مرتضي نويسنده صنايع قطعات نيمه هادي، صنعت آپتوالكترونيك
كليدواژه :
كاشت يون , آشكار ساز مادون قرمز , فتوديود اينديوم آنتيمونايد
عنوان كنفرانس :
شانزدهمين كفنراسن اپتيك و فوتونيك ايران و دومين كنفرانس مهندسي فوتونيك ايران
چكيده فارسي :
در اين تحقيق نتايج به دست آمده از كاشت يون Be+ در نيمه هادي n-InSb به منظور ساخت آشكار ساز فتوديودي مادون قرمز در بازه طول موج 5-3µm ارائه شده است. فتوديودي به روش كاشت يون، با دز 14 10×4 cm -2 و انرژي KeV 100 ، همراه با عملياتي حرارتي 350C به مدت 30 دقيقه طراحي و ساخته شده است كه داراي جريان تاريكي 2nA در باياس معكوس 50mV و آشكارسازي بيشينه طول موجي cm Hz 1/2 W1 (Dλ) 9 ×10 10 مي باشد.
كلمات كليدي:
، ،
شماره مدرك كنفرانس :
1845181
