DocumentCode :
3790313
Title :
Editorial
Author :
R.S. Muller
Volume :
14
Issue :
4
fYear :
2005
Firstpage :
649
Lastpage :
650
Journal_Title :
Journal of Microelectromechanical Systems
Publisher :
ieee
ISSN :
1057-7157
Type :
jour
DOI :
10.1109/JMEMS.2005.855455
Filename :
1492415
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