DocumentCode :
3820690
Title :
European Conference on Ion Implantation
Author :
D.R. Chick
Volume :
17
Issue :
4.5
fYear :
1971
Firstpage :
178
Lastpage :
179
Journal_Title :
Electronics and Power
Publisher :
iet
ISSN :
0013-5127
Type :
jour
DOI :
10.1049/ep.1971.0110
Filename :
5179719
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