DocumentCode :
3850479
Title :
Transistors go 3-D
Volume :
48
Issue :
6
fYear :
2011
Keywords :
"FinFETs","Transistors"
Journal_Title :
IEEE Spectrum
Publisher :
ieee
ISSN :
0018-9235
Type :
jour
DOI :
10.1109/MSPEC.2011.5779772
Filename :
5779772
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