DocumentCode :
777454
Title :
Inertial-grade in-plane resonant silicon accelerometer
Author :
Seok, Sangok ; Chun, K.
Volume :
42
Issue :
19
fYear :
2006
Firstpage :
1092
Lastpage :
1093
fLanguage :
English
Journal_Title :
Electronics Letters
Publisher :
iet
ISSN :
0013-5194
Type :
jour
DOI :
10.1049/el:20061774
Filename :
1705798
Link To Document :
بازگشت