فلزينه كاري پليمرها: مس روي سيكلوتن

Metalization of Polymers: Copper on Cyclotene

بررسي تقاضاهاي تكنولوژي GSI و ULSI حاكي از نياز ساختارهاي چند لايه به كاهش زمان تأخير انتقال علائم بين سيستمهاي نيمه هادي است. اين كاهش با استفاده از يك فلز هادي خوب مانند مس و يك غير هادي كم ظرفيت تر از آنچه هم اكنون استفاده مي‌شود مانند سيكلوتن ممكن است.در اين مقاله نتايج حاصل از چسبندگي پوشش تبخيري و پراكنشي مس روي سيكلوتن 3022 بررسي مي‌شود. پس از ارائه واكنشهاي فصل مشترك فلز و پليمر كه رابطه مستقيم با چسبندگي دارد روشهاي بهبود چسبندگي منجمله تغيير سطح پليمر توسط پلاسماي نيتروژن ارائه مي‌شود.

An analysis of the demands of ULSI and GSI technologies shows the necessity of multi-layer devices to reduction of signal transmission delay time. This reduction is realized by using a better conductor metal, such as Cu and a surrounding insulator with low capacity than actually used, such as Dow Cyclotene 3022. In this paper, the results of evaporated and sputtered Cu to Dow Cyclotene 3022 were studied. After presentation of interfacial reaction that causes adherence, the methods of enhanced adherence as surface modification of polymer by nitrogen plasma have been investigated.