تاثير لايه هاي مختلف اكسيد بر خواص حسگري فيلم آلوميناي آندي نانوحفره دار

The effect of different oxide layers on the sensing properties of anodic alumina nanoporous film

در كار حاضر، قالب اكسيد آلومينيوم آنده شده به وسيله روش آنده نرم شتاب دار و در اسيد فسفريك 0/6 مولار و با ولتاژ آنده 175 ولت ساخته شد. قطر حفره ها توسط سونش شيميايي نمونه ها در اسيد فسفريك 0/5 مولار و در مدت زمان هاي مختلف 8، 16، 32 و 40 دقيقه افزايش داده شد. بررسي تصاوير ميكروسكوپ الكتروني نشان داد كه قطر حفره ها با زمان سونش به صورت نمايي افزايش مي يابد. با لايه نشاني الكترودهاي نقره روي نمونه ها و سپس با استفاده از يك مدار RC براي طيف سنجي امپدانسي، مشخصات حسگري نمونه هاي ساخته شده نسبت به رطوبت مورد بررسي قرار گرفت. اندازه گيري ها نشان داد كه بيشترين ميزان پاسخ حسگري نسبت به رطوبت مربوط به حسگر شاخته شده توسط نمونه با 40 دقيقه سونش مي باشد. براي اين حسگر آستانه رطوبت نسبي قابل آشكار سازي 30 درصد و زمان پاسخ و بازيافت به ترتيب 8 و 2 ثانيه بود.

In the present work, anodized aluminum oxide template was prepared by accelerated mild anodization technique in 0.6M phosphoric aside and 175 V, anodization voltage. Pore widening was performed by chemical etching in 0.5M phosphoric acid for 8, 16, 32, 40 minutes. Scanning Electron Microscopy (SEM) images showed the pores, diameter exponentially increases with etching time. By depositing silver contacts on the prepared samples and using an RC circuit for applying impedance spectroscopy, the characteristics of the humidity sensor based on constructed samples were investigated. The maximum response was seen for the sample etched for 40 minutes. For this sample, the detectable threshold of relative moisture was 30% and the response and the recovery time were 8, 2 seconds, respectively