عنوان مقاله :
بررسي ساختار و رفتار تريبولوژيكي پوشش نانوساختار كربن شبه الماس رسوبگذاري شده به روش PACVD و Arc-PVD
پديد آورندگان :
كرانيان ، عيسي - دانشكده علوم پايه , نايب زاده ، رامين - دانشكده مهندسي شيمي , غلامپور ، مهدي - دانشكده علوم پايه
كليدواژه :
رسوب فيزيكي بخار , رسوب شيميايي بخار به كمك پلاسما , كربن شبه الماس , پوشش نانوسختار و فولاد St37
چكيده فارسي :
در اين پژوهش پوشش نانوساختار DLC (كربن شبه الماسي) با استفاده از روش PACVD (رسوب گذاري شيميايي از فاز بخار به كمك پلاسما) و روش Arc-PVD (رسوب گذاري فيزيكي از فاز بخار به كمك قوس كاتدي)، روي فولاد St37 پوشش داده شد. سپس در روش Arc-PVD يك لايه مياني قبل از پوشش DLC رسوب گذاري گرديد. مشخصهيابي و ارزيابي پوشش ها به وسيله روشهاي ميكروسكوپ الكتروني روبشي، پراش سنجي پرتو ايكس، طيف سنجي رامان، طيف سنجي با تفكيك انرژي، آزمون هاي چسبندگي و تريبولوژيكي انجام شد. نتايج نشان داد كه پوشش DLC PVD به دليل حضور لايه مياني TiCrAlN، اندازه ذرات 30 تا 40 نانومتر، سختي گرادياني و همچنين حضور كاربيدهاي تيتانيم و كروم درون پوشش، داراي خواص مكانيكي، چسبندگي و سايش عالي است. اندازه دانه هاي پوشش DLC PACVD تقريباً در محدوده ي 70 تا 110 نانومتر اندازه گيري شد. از طرفي ضخامت پوشش در روش Arc-PVD كم تر از پوشش حاصل از روش PACVD شد كه تنش داخلي كم تر پوشش منتهي به چسبندگي مناسب اين پوشش شد. بنابراين پوشش حاصل از روش PACVD علي رغم خواص مناسب، نسبت به پوشش DLC PVDسختي و چسبندگي كمتري از خود نشان داد.