تأثير فرايند سينتر بر خواص الكتريكي و ريزساختاري تارگت كند‌و‌پاش و لايه‌ي نازك باريوم استرانسيوم تيتانات

در اين پژوهش، اثر دماي سينتر بر ريزساختار بدنه‌هاي Ba0.5Sr0.5TiO3 و خواص الكتريكي لايه‌هاي نازك ايجاد شده به روش كند‌و‌پاش مورد بررسي قرار گرفت. تركيب سراميكي Ba0.5Sr0.5TiO3 تك‌فاز و بدون ناخالصي با استفاده از روش حالت جامد سنتز شد. به منظور بهينه‌يابي دماي پخت، اين تركيب در محدوده دماي Cº 1200 تا Cº 1400 سينتر شد. نتايج نشان داد كه نمونه‌ي سينترشده در دماي Cº 1250 از 95% چگالي نسبي و ميانگين اندازه دانه‌هاي µm 8 برخوردار مي‌باشد كه به‌منظور استفاده براي تارگت كند‌و‌پاش مناسب مي‌باشد. گاف انرژي لايه‌ي نازك اعمال شده از تارگت ساخته شده تحت شرايط بهينه eV 4/3 و ثابت دي الكتريك آن در فركانس kHz 10 برابر با 4400 به‌دست آمد كه نشان‌دهنده‌ي خواص مطلوب لايه‌هاي نازك اين تركيب از تارگت ساخته‌شده‌ي آن براي كاربردهاي خازني مي‌باشد. به‌منظور بررسي‌هاي ريزساختاري، فازي و خواص الكتريكي از آزمون‌هاي XRD، ميكروسكوپي نوري، اندازه‌گيري چگالي، UV-Vis و اندازه‌گيري ثابت دي الكتريك استفاده‌ شد.