عنوان مقاله :
مروري بر متداول‌ترين روش‌هاي سنتز و فرآوري فيلم‌هاي نازك اكسيد روي
عنوان به زبان ديگر :
بدون عنوان
پديد آورندگان :
سبزي، مسعود دانشگاه آزاد اسلامي واحد دزفول، دزفول، ايران , كلانتري‌پور، رقيه دانشگاه آزاد اسلامي واحد دزفول، دزفول، ايران
كليدواژه :
اكسيد روي , فيلم‌هاي نازك , سنتز و فرآوري
چكيده فارسي :
در اين پژوهش به بررسي متداول‌ترين روش‌هاي سنتز و فرآوري فيلم‌هاي نازك اكسيد روي پرداخته شده است. فيلم‌هاي نازك اكسيد روي به دليل مقاومت پايين، خواص پيزوالكتريكي مناسب، شفافيت بالا در ناحيه مرئي و وجود جنبه‌هاي تزييني، داراي كاربردهاي وسيعي در ادوات نيمه رساناها، دستگاه‌هاي موج آكوستيكي و وسايل اپتيكي - آكوستيكي مي‌باشند. درمجموع فيلم‌هاي نازك اكسيد روي داراي ويژگي‌هاي اپتيكي و الكتريكي خوبي بوده و همچنين هزينه‌هاي ساخت پاييني دارند. روش‌هاي رسوب گذاري متفاوتي مانند كند و پاش، رسوب گذاري باريكه مولكولي، رسوب گذاري فاز بخار، تبخير حرارتي، تبخير واكنشي، رسوب گذاري بخار شيميايي، اسپري پايروليزر و فرآيند سل - ژل براي ساخت فيلم‌هاي نازك اكسيد روي به كار مي‌روند.
عنوان نشريه :
سراميك ايران
