بررسي تاثير محلول هيدروكسيد پتاسيم و ايزوپروپيل الكل بر بافتدهي سطحي سيليكون و رفتار آبدوستي آن

در اين مقاله ساختارهاي ميكرومتري هرمي شكلي بر روي بستر سيليكوني تكبلوري با كمك زدايش ناهمسانگرد در محلول هيدروكسيد پتاسيم (KOH) و افزودني ايزوپروپيل الكل ايجاد شدهاند و تاثير پارامترهاي مختلف همچون غلظتهاي KOH و IPA و دما بر ايجاد اين ساختارها مورد مطالعه قرار گرفته است. نتايج بدست آمده نشان ميدهند كه با افزايش غلظت KOH و IPA و همچنين با افزايش دما، ابعاد ساختارهاي هرمي شكل افزايش يافته و توزيع آنها غيريكنواختي بيشتري پيدا ميكند. ايجاد تخلخل بر روي بستر سيليكوني، قبل از فرآيند زدايش با محلول هيدروكسيد پتاسيم، ميتواند به افزايش يكنواختي ساختارهاي ايجاد شده كمك كند. در اين مقاله براي اولين بار تاثير تخلخلهاي ايجاد شده با روش زدايش شيميايي با كمك فلز نقره، بر شكلگيري ميكروهرمهاي سيليكوني بررسي گرديده است. بعلاوه، اعمال فرآيند حرارتي بر ماسك نقرهي شكل گرفته بر بستر سيليكوني در پروسه MACE، قبل از زدايش نيز باعث يكنواختي و كوچكتر شدن ساختارهاي هرمي شكل ميشود. براي مطالعه ساختارهاي ايجاد شده از تصاوير ميكروسكوپ الكتروني روبشي گسيل ميداني استفاده شده است. بعلاوه، رفتار آبدوستي ساختارهاي هرمي ايجاد شده نيز مورد مطالعه قرار گرفته است. نتايج حاصل از آزمون زاويهي تماس نشان ميدهند كه با افزايش يكنواختي ابعاد و توزيع ساختارهاي هرميِ ايجاد شده، آبدوستي سطح بيشتر مي شود.