ساخت تراشه ميكروشاره با ميكروماشين‌كاري ليزري

در اﻳﻦ ﻣﻘﺎﻟﻪ از ﻣﺎﺷﻴﻦﻛﺎري ﭘﻠﻴﻤﺮ PMMA ﺑﺎ ﻟﻴﺰر CO ﺑﻪ ﻣﻨﻈﻮر اﻳﺠﺎد ﻣﺠﺮاﻫﺎي دو ﺑﻌﺪي ﻣﻴﻜﺮو ﺑﺎ اﺑﻌﺎد ﻛﻤﺘﺮ از 500 ﻣﻴﻜﺮون( اﺳﺘﻔﺎده ﺷﺪه اﺳﺖ. ﺑﻪ ﻣﻨﻈﻮر اﻳﺠﺎد ﻛﺎﻧﺎل ﻣﻴﻜﺮو، ﻧﻤﻮﻧﻪ ﺑﺎ دو ﺷﺎرﻳﺪﮔﻲ J/cm2 44/9و 48/4 و ﺳﺮﻋﺖﻫﺎي ﭘﺎﻳﺶ ﻣﺘﻔﺎوت از ﻣﺮﺗﺒﻪ μm/s 63-500 ﺗﻮﺳﻂ ﻟﻴﺰر CO ﺗﭙﻲ 2 ﻣﻮرد ﺗﺎﺑﺶ ﻗﺮار ﮔﺮﻓﺘﻪ اﺳﺖ و در ﻣﺮاﺣﻞ ﺑﻌﺪي ﺑﺮاي ﺗﻜﻤﻴﻞ ﺗﺮاﺷﻪ ﻣﻴﻜﺮو ﺷﺎره، ﺗﺮاﺷﻪ T ﺷﻜﻞ ﺗﻮﺳﻂ ﻟﻴﺰرﻫﺎي CO ﺑﻪ ﭘﻠﻴﻤﺮ ﺟﻮش داده ﺷﺪه اﺳﺖ. ﻧﺘﺎﻳﺞ ﺣﺎﻛﻲ ازﻋﻤﻠﻜﺮد ﺑﻬﺘﺮ ﻟﻴﺰر CO ﭘﻴﻮﺳﺘﻪ ﻧﺴﺒﺖ ﺑﻪ ﺗﭙﻲ ﺑﺮاي اﺗﺼﺎل ﺗﺮاﺷﻪ ﻣﻴﻜﺮوﺷﺎره اﺳﺖ.

no abstract