عنوان مقاله :
تاثير پارامترهاي تابش در ميكروماشينكاري PMMA با ليزر Nd:YAG
پديد آورندگان :
پازكيان، هديه پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي، تهران، ايران , سبحاني، محمد جواد داﻧﺸﮕﺎه ﻋﻠﻢ و ﺻﻨﻌﺖ اﻳﺮان - داﻧﺸﻜﺪه ﻓﻴﺰﻳﻚ، تهران، ايران , اميري، حسين پژوهشگاه علوم و فنون هسته اي، تهران، ايران , ملاباشي، محمود داﻧﺸﮕﺎه ﻋﻠﻢ و ﺻﻨﻌﺖ اﻳﺮان - داﻧﺸﻜﺪه ﻓﻴﺰﻳﻚ، تهران، ايران
كليدواژه :
ﻣﻴﻜﺮوﻛﺎﻧﺎل , ﻣﻴﻜﺮو ﻣﺎﺷﻴﻦ ﻛﺎري , ﻧﺴﺒﺖ اﺑﻌﺎدي , ﻟﻴﺰر Nd:YAG.
چكيده فارسي :
در اﻳﻦ ﻣﻘﺎﻟﻪ ﻛﻨﺪﮔﻲ ﻟﻴﺰري ﻣﺴﺘﻘﻴﻢ ﺑﺮاي اﻳﺠﺎد ﻣﻴﻜﺮوﻛﺎﻧﺎلﻫﺎي ﺑﺎ ﻗﻄﺮ ﭼﻨﺪ ﺻﺪ ﻣﻴﻜﺮون ﺑﺮروي ﭘﻠﻴﻤﺮ PMMA ﺑﺎ اﺳﺘﻔﺎده از ﻫﺎرﻣﻮﻧﻴﻚ دوم ﻟﻴﺰر ﻧﺎﻧﻮﺛﺎﻧﻴﻪ λ =532nm) Nd:YAG)، اﺳﺘﻔﺎده ﺷﺪه اﺳﺖ. اﺛﺮ ﺷﺎرﻳﺪﮔﻲ، ﺗﻌﺪاد ﺗﭗ، ﻧﺮخ ﺗﻜﺮار و ﻧﻴﺰ ﻧﺴﺒﺖ اﺑﻌﺎدي ﻣﻮرد ﺑﺮرﺳﻲ ﻗﺮار ﮔﺮﻓﺘﻪ اﺳﺖ. ﺑﻴﺸﻴﻨﻪ ﻧﺴﺒﺖ اﺑﻌﺎدي ﺑﻪ دﺳﺖ آﻣﺪه ﺑﺮاي ﺳﻮراخ ﻫﺎي اﻳﺠﺎد ﺷﺪه ﺑﺮاﺑﺮ 29 ﺑﻮده اﺳﺖ.
چكيده لاتين :
no abstract
عنوان نشريه :
فيزيك اتمي - مولكولي
