ارزيابي خواص نوري و ساختاري لايه نازك كربن آمورف گرافيتي انباشت شده به روش كندوپاش پرتو يوني در انرژي يون متفاوت

در تحقيق حاضر لايه نازك كربن آمورف گرافيتي به روش كندوپاش پرتو يوني بر زيرلايه شيشه انباشت شده است. تاثير انرژي يون در محدوده گسترده از keV 1.8 تا keV 5 بر خواص نوري و ساختاري لايه نازك كربن آمورف بررسي شده است. نتايج بررسي خواص نوري و ساختاري به ترتيب با استفاده از طيف‏سنجي مرئي فرابنفش و طيف‏سنجي رامان نشان‏دهنده ارتباط مستقيم تحولات ساختاري و فيزيكي مي‏باشد. نتايج بررسي طيف‏سنجي رامان نشان‏دهنده تحولات ساختاري لايه نازك كربن آمورف در محدوده تحولات گرافيتيگرافيتي نانوكريستالي مي‏باشد. اندازه‏گيري طيف عبور نمونه‏ها، افزايش ميزان عبور نور در محدوده مرئي با افزايش انرژي يون از keV 3 را نشان مي‏دهد كه با افزايش نسبت ID/IG و كاهش ضخامت لايه همراه است. مقاومت الكتريكي اندازه‏گيري شده توسط روش چهار‏كاوه و شكاف انرژي نوري در محدوده مذكور نيز روند افزايشي دارد. براساس نتايج بدست آمده با استفاده از معادله تاك حداكثر شكاف انرژي نوري لايه نازك كربن آمورف eV3.75 مربوط به لايه انباشت شده با اندازه‏ي خوشه‏هاي گرافيتي برابر با nm 5 مي‏باشد.