طراحي و ساخت پوشش ضدبازتاب از مواد 3YbF و ZnS بر روي بستر ZnSe مورد نياز در ليزرهاي گاز كربنيك

قطعات اپتيكي با پوشش ضدبازتاب ساخته شده بر روي زيرلايه ZnSe به عنوان يكي از قطعات اپتيكي اصلي ليزر گازكربنيك محسوب مي ‌شوند. محدوده طول موجي اين پوشش‌ هاي ضدبازتاب در ناحيه فروسرخ دور و در طول موج nm  10600 است. معمولاً براي پوشش ضد بازتاب از مواد 3YF و ZnS  استفاده مي‌ شود. اگرچه براي ساخت آينه‌ هاي بازتاب از جنس طلا و نقره براي طول موج μm 1.6، كارهاي پژوهشي متعددي در كشور انجام گرفته است، در مورد پنجره اپتيكي ضد بازتاب و يا قسمتي از آن در اين طول موج پژوهشي صورت نگرفته است. براي ساخت پوشش ضدبازتاب ابتدا خواص مواد مورد استفاده در اين ناحيه طول موجي مورد بررسي قرار گرفت كه از ميان آن‌ ها دو ماده 3YbF و ZnS انتخاب شدند. سپس طراحي ضدبازتاب در طول موج nm 10600 با استفاده از اين دو ماده توسط نرم افزار Macleod انجام گرفت. در مرحله تجربي، لايه نشاني به روش تبخير فيزيكي در خلأ بر روي يك طرف زير لايه ZnSe توسط دستگاه لايه نشاني 510-Balzers Ba انجام شد. عملكرد قطعه بر خروجي ليزر گازكربنيك W 10 بررسي شده و ميزان عبور باريكه ليزر از ضدبازتاب استاندارد، زيرلايه پوليش شده و ضدبازتاب طراحي و ساخته شده، مورد اندازه گيري قرار گرفت. نتايج نشان‌ دهنده عبور ميانگين 77/84 % در طول موج مورد نظر در قطعه با پوشش ضدبازتاب در صفر درجه ساخته شده است. ريخت شناسي و ضخامت لايه ‌ها با استفاده از تصويربرداري SEM انجام شده است.