بررسي تاثير دماي بازپخت روي چگالي اپتيكي، توپوگرافي و خواص ساختاري سطح لايه هاي اكسيد روي و اكسيد روي تزريق شده با آلومينيوم

لايه هاي مختلف اكسيد روي و اكسيد روي تزريق شده با آلومينيوم با استفاده از روش كندوپاش مغناطيسي با فركانس راديويي در دماي اتاق بر روي لايه هاي شيشه اي ساخته شدند. لايه ها در يك كوره الكتريكي با حضور گاز آرگون در سه دماي مختلف 400، 500 و 600 درجه سانتي بازپخت شدند. مقدار چگالي اپتيكي اكسيد روي نسبت به اكسيد روي تزريق شده با آلومينيوم بيشتر است. مقادير اندازه عرضي نانو ذرات براي لايه هاي اكسيد روي با افزايش دماي بازپخت، افزايش يافتند. لايه هاي اكسيد روي بازپخت شده در دماي 400 درجه سانتي گراد داراي كمترين مقدار اندازه عرضي نانو ذرات در حدود 22.59 نانومتر هستند. لايه هاي اكسيد روي تزريق شده با آلومينيوم و بازپخت شده در دماي 600 درجه سانتي گراد داراي بيشترين مقدار اندازه عرضي نانو ذرات در حدود 34.41 نانومتر هستند. تغييرات ارتفاع سطح روبش شده لايه ها نشان دادند كه لايه اكسيد روي در دماي اتاق داراي يك جهش تند 25 نانومتر مي باشد. همچنين لايه اكسيد روي تزريق شده با آلومينيوم در دماي 600 درجه سانتي گراد داراي فراز و نشيب كمتري نسبت به بقيه دماها دارا مي باشد و ارتفاع حول 6 نانومتر است. باافزايش دماي بازپخت مقادير ابعاد فراكتالي لايه هاي اكسيد روي كاهش مي يابد.